真空镀膜机的维护保养及安全工作措施：

　　1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置导电作用。　　

    2、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内示冷却至80摄氏度以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

　　3、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化。

 　
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