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真空镀膜机:原理和各部件分析(下)


 真空镀膜机:原理和各部件分析(下)


  1.机械泵的分类:机械泵有很多种,常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此当前使用最广泛,这篇文章首要介绍)四种类型。




   2.机械泵是从大气开端作业的,它的首要参数有极限真空,抽气速率,此为规划与选用机械泵的重要依据。单级泵能够将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵能够将容器从大气抽到6.7*10-2帕,乃至更高。抽气速率,是指旋片泵按额外转数工作时,单位时间内所能排出气体的体积,能够用下公式核算:Sth=2nVs=2nfsL fs表明吸气完毕时空腔截面积,L表明空腔长度,系数表明转子每旋转一周有两次排气进程,Vs表明当转子处于水平方位的时分,吸气完毕,此刻空腔内的体积最大,转速为n。机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有联系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时分,机械泵的排气效果也会变差,所以要常常养护,点检,机械泵油的密封效果也需求常常点检,油过少,达不到密封效果,泵内会漏气,油过多,把吸气孔阻塞,无法吸气和排气,通常,在油位在线下0.5厘米即可。




   3.机械泵常常被用来抽除枯燥的空气,但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体,机械泵通常被用来抽除永久性的气体,可是对水气没有好的效果,所以它不能抽除水气。旋片泵中起首要效果的部件是定子、转子、弹片等,转子在定子里边但与定子不一样心轴,象两个内切圆,转子槽内装有两片弹片,两弹片中心装有绷簧,确保了弹片紧紧贴在定子的内壁。


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