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真空镀膜机的维护


真空镀膜机中的扩散泵连续使用6个月以上,抽速就会明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。

  在重新开机前,要注意检漏工作。启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6×10Pa,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

  真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。用烧碱饱和溶液反复擦洗真空室内壁,目的是使镀上去的膜料铝与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

  当真空镀膜机粗抽泵连续工作一个月,需更换新油。将泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。

文章来源:真空镀膜机 http://www.ydzk.com